六氯乙硅烷 (CAS No.13465-77-5)
- 物化性质
- 常温下为无色透明液体，在潮湿空气中发烟。沸点144.5 °C，熔点-1.0 °C，密度（20°C）约1.56 g/cm3，折射率约1.458，闪点约40 °C。遇水分解，与多数有机溶剂混溶。
- 技术参数
- 纯度 ≥ 99.9% (GC) 水分 ≤ 10 ppm 金属杂质 ≤ 1 ppm 外观为无色透明液体
English description（英文原文，共 938 字符）
Product Name:Hexachlorodisilane
English Name:Hexachlorodisilane
CAS No.:13465-77-5
Aliases:1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane, Hexachlorodisilicon
Molecular Formula:Si2Cl6
Physical Properties:Colorless transparent liquid at room temperature, fuming in moist air. Boiling point 144.5 °C, melting point -1.0 °C, density approximately 1.56 g/cm³ at 20 °C, refractive index approximately 1.458, flash point approximately 40 °C. Decomposes in water; miscible with most organic solvents.
Uses:Mainly used as a precursor for chemical vapor deposition (CVD) in the semiconductor industry, for epitaxial silicon thin film deposition and tungsten silicide barrier layer preparation. Also used as a precursor for silicon carbonitride ceramics, functional coating preparation, and advanced material research.
Technical Specifications:
Purity ≥ 99.9% (GC)
Water content ≤ 10 ppm
Metal impurities ≤ 1 ppm
Appearance: colorless transparent liquid
English Name:Hexachlorodisilane
CAS No.:13465-77-5
Aliases:1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane, Hexachlorodisilicon
Molecular Formula:Si2Cl6
Physical Properties:Colorless transparent liquid at room temperature, fuming in moist air. Boiling point 144.5 °C, melting point -1.0 °C, density approximately 1.56 g/cm³ at 20 °C, refractive index approximately 1.458, flash point approximately 40 °C. Decomposes in water; miscible with most organic solvents.
Uses:Mainly used as a precursor for chemical vapor deposition (CVD) in the semiconductor industry, for epitaxial silicon thin film deposition and tungsten silicide barrier layer preparation. Also used as a precursor for silicon carbonitride ceramics, functional coating preparation, and advanced material research.
Technical Specifications:
Purity ≥ 99.9% (GC)
Water content ≤ 10 ppm
Metal impurities ≤ 1 ppm
Appearance: colorless transparent liquid
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常见问题
- 六氯乙硅烷的 CAS 号是多少？
- 六氯乙硅烷的 CAS 号是 13465-77-5。
- 六氯乙硅烷的分子式和分子量是什么？
- 六氯乙硅烷的分子式为 Si2Cl6。
- 六氯乙硅烷的英文名称是什么？
- 六氯乙硅烷的英文名称为 Hexachlorodisilane。
- 六氯乙硅烷还有哪些别名？
- 六氯乙硅烷又称 1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷、六氯化二硅。
- 六氯乙硅烷有哪些供应商和生产厂家？
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- 六氯乙硅烷的供应商主要分布在哪些地区？
- 六氯乙硅烷的供应商主要分布在 上海市（1 条） 等地。
- 六氯乙硅烷有哪些级别可选？
- 平台上六氯乙硅烷的供应级别包括 工业级。
- 六氯乙硅烷的报价单位是什么？
- 六氯乙硅烷的报价单位主要有 千克。
- 哪里可以查到六氯乙硅烷的价格？
- 掌上化工六氯乙硅烷产品页汇总了各供应商的最新报价与规格，地址：/chemicals/13465-77-5/。部分供应商价格为电议，可通过页面上的询价功能直接获取。
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