su-8光刻胶做微流控芯片 显影有问题

曝光后后烘65℃ 10min，95℃ 30min，显影时发现不到三分钟就行液体进入硅片和光刻胶中间一样，腔室下有水波纹，周围还没有冲掉的情况下，腔室就开始慢慢脱落

安逸
，喜欢交朋友
2025-12-23回答
腔室就开始慢慢脱落腔室就开始慢慢脱落